氧探頭在滲碳、碳氮共滲、保護氣氛無氧化加熱等熱處理工藝上的應用要比在工業(yè)爐、汽車上應用復雜得多，因為爐內的氣氛控制與氧探頭輸出的氧量信號沒有直接的數學關系。它是通過氧探頭測量出熱處理爐內氣氛中的氧量，再由熱處理爐內氣氛的化學平衡原理計算出對應的碳勢，達到監(jiān)視或控制爐內的碳勢，這就要求在大量生產實踐的基礎上收集大量**的實驗數據，建立起與實際更接的數學模式。
　　滲碳爐中氣氛碳勢的測量與控制，1950年前后主要用氯化鋰露點儀，1970年前后大多采用紅外線氣體分析儀。七十年代中期美國**在熱處理行業(yè)引進氧探頭進行碳勢控制，并獲得巨大的成功。氧探頭直接插入爐內測量，具有結構簡單、響應速度快、精度高等優(yōu)點，得以迅速在發(fā)達**推廣使用。到八十年代中期，歐、美、日等都已全部改用氧探頭測量和控制碳勢。

　　氧探頭的使用范圍很廣，一般說來適用于高溫滲碳、碳氮共滲、非平衡滲碳(或高碳勢)，以及氮基氣氛滲碳等。
　　使用氧探頭帶來的效益是很顯著的。首先是產品質量提高，基本上消除了廢品；其次是縮短了滲碳時間，減少了滲劑的消耗，節(jié)約了能源。據使用廠家反映，利用氧探頭可縮短20%工時，減少50～70%的滲劑消耗；再次是可避免碳黑的形成，減輕了清理工作。
多數熱處理氣氛是含CO、CO��2、CH4、H2、H2O等的混合氣體，目前發(fā)展起來的N2基氣氛中，N2只作為載氣并不參加反應，這里不予考慮。
　　簡單地講，平衡條件下，氣氛中CO和H2的含量是穩(wěn)定的，一般的碳勢控制都是比較容易實現(xiàn)的，但到高溫或高碳勢(＞1.2%℃)時，氣氛CO和H2O含量非常小，當氣氛被引出爐并冷卻后，氣氛的平衡被嚴重破壞，這導致CO2紅外儀和露點法給出的碳勢與實際碳勢的偏差經常達到100%以上，而氧探頭是直接插入爐中測量的，反映的是爐內真實狀況，精度很高。
　　利用能斯特公式(6)可推導出氧電勢與碳活度、Pco、T之間的關系，它們的關系中碳活度ac=Cp／Cs,Cp為爐氣碳勢，Cs為T溫度下鋼中飽和含碳量，Pco為爐氣中CO分壓。。在平衡條件下，Pco很穩(wěn)定，利用氧電勢和溫度就可準確地測出碳勢。
　　在非平衡條件下或N2基氣氛下，Pco和PH2不穩(wěn)定，紅外法和露點法已不適用，而加上Pco(用紅外儀測出)補償，進一步修正(6)式，氧探頭仍可以準確地進行碳勢控制，這對高溫高碳滲碳是非常重要的。