測(cè)量鋼瓶中的微量氧主要是測(cè)量氮?dú)饣蛘邭鍤怃撈恐形⒘垦醯暮��?br>　　本文主要談到ZO-201微量氧分析儀和EC-400微量氧分析儀或EC-402便攜式微量氧分析儀
　　一般來(lái)測(cè)量高純氣鋼瓶中的微量氧，由于基本屬于10ppm以內(nèi)的量級(jí)，氣路的密封尤為重要，大多數(shù)用戶在測(cè)量過(guò)程中表現(xiàn)為氧含量偏高，那么首先要考慮氣路密封的問(wèn)題，在氣路密封中主要有以下幾個(gè)方面的問(wèn)題：
　　1、鋼瓶采用的減壓器是否密封？
　　2、減壓閥上面的壓力表是否密封？
　　3、減壓器上如果帶流量計(jì)，轉(zhuǎn)子流量計(jì)是否密封？
　　4、減壓器出口采用的是否是M8*1外螺紋接嘴？如果是寶塔皮管接嘴，那么一定漏氣
　　5、連接儀表的管的材質(zhì)？一般是3mm不銹鋼管、3mm銅管為佳，如果采用其他材質(zhì)管，包括PU,PVC,四氟，這類管或多或少會(huì)泄露
　　6、連接儀表進(jìn)氣嘴的密封
這些方面的問(wèn)題都要排查才行，下面就減壓器的問(wèn)題來(lái)說(shuō)一下
　　一般鋼瓶為G5/8接口，需要加鋼瓶減壓閥，那么我們一般選擇氧氣減壓閥，因?yàn)檠鯕鉁p壓閥的出氣嘴，可以更換成M8*1外螺紋，而氬氣減壓閥只能是皮管。 當(dāng)選擇氧氣減壓閥后，出氣嘴換成M8*1外螺紋后，用配套的3mm卡套接頭，兩邊套2個(gè)3mm密封圈做密封，儀器那邊也是。所有的微量氧分析儀都要這么接，才有保障。
　　測(cè)量過(guò)程中由于減壓閥的減壓器和壓力表都有空間，那么需要多次置換后，才能得出準(zhǔn)確數(shù)字，具體做法是：當(dāng)氧含量無(wú)法下降后，關(guān)閉鋼瓶大閥給整個(gè)管路泄壓，等被壓力頂住的氧分子釋放，當(dāng)微量氧分析儀的流量計(jì)下降到0后，再打開(kāi)鋼瓶減壓閥。這樣氧含量又會(huì)下去不少，這樣反復(fù)3-4次，*終完成整個(gè)氣路的置換，達(dá)到*終讀數(shù)。
　　以上只是介紹一下減壓器在整個(gè)微量氧測(cè)量過(guò)程中的重要性，其他幾點(diǎn)因素同樣重要，否則測(cè)量無(wú)法確保準(zhǔn)度。
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